鑫康生產的鋁鉻合金靶材采用先進的熱等靜壓工藝。產品包括矩形靶,弧形靶和長徑比大的整體成型管靶等,具有組成比范圍廣,純度高,密度大,晶粒細小均勻,使用壽命長的優點??筛鶕蛻粢笞杂烧{節,實際密度接近99%。
以下是鋁鉻合金靶材的生產工藝
原材料 - 混粉 - 包套 - 合金粉末 - 包套壓制 - 熱等靜壓 - 金相檢驗 - 線切割 - 機加工 - 尺寸檢驗 - 清潔 - 包裝
鋁鉻合金靶材的相關參數
鋁鉻合金靶材金相檢驗
通過反復的鍛造軋制及熱處理使我們能適當的調整靶材的微觀結構來達到你想要的效果,如果濺射靶材的晶粒大小均勻一致,用戶可以獲得良好的濺射速率和均勻鍍膜層。下圖是鋁鉻30at%濺射靶材的顯微金相檢測圖片,平均粒徑< 100μm。
鋁鉻合金濺射靶材的成分分析
我們生產鋁鈦濺射靶材,它最重要的好處是純度和密度高,具有晶粒細小均勻、使用壽命長的優點。下面的表格是2N8 鋁鉻30at%濺射靶的典型成分分析證明書。