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靶材綁定及背板加工

產品優勢

我們可以根據不同的機臺要求加工不同規格的靶材背板，材質包括銅、鈦、鉬、鋁等，同時也可以提供靶材與背板的綁定服務。

用途

我司生產各種規格尺寸的背板以用于靶材與背板的綁定結合，綁定的材料包括銦、銀錫、導電膠等。

產品列表

靶材背板的作用:
在濺射過程中可支撐脆性靶材，如陶瓷靶和軟金屬材料；在濺射過程中起到熱傳遞的作用。

背板材料的選擇有什么要求：
背板材料和靶材的熱傳遞性；導電性；抗冷卻水壓的機械性能及熱循環效果；重復利用性。

我司可提供以下靶材背板材料:
無氧銅靶材背板 - 無氧銅背板為使用最廣發的背板，其具有良好的導熱性和導電性，且易于加工。正常情況下銅背板可重復利用20次以上。

鉬靶材背板 - 鉬背板適用于高溫綁定，然而銅背板在高溫下較易氧化或者變形。當銅背板與靶材的熱膨脹系數不匹配時，鉬背板可與一些熱膨脹系數小的靶材匹配。

鋁靶材背板 - 鋁背板具有同樣的導熱性，并可與靶材的熱膨脹系數匹配，且適用于擴散焊綁定。

不銹鋼靶材背板 - 不銹鋼背板通常適用于旋轉靶的背管，成本較低且可回收利用。

此外，我司也可生產銅鋅合金背板和銅鉻合金背板，若有任何需求，歡迎前來咨詢。

我們的產品
高純金屬靶材

      釩（V）靶材

      鐵（Fe）靶材

      鈷（Co）靶材

      鉬（Mo）靶材

      鈮（Nb）靶材

      鉭（Ta）靶材

      鎢（W）靶材

      鎳（Ni）靶材

      鈦（Ti）靶材

      鋁（Al）靶材

      鉻（Cr）靶材

      銅（Cu）靶材

      鋅（Zn）靶材

      錫（Sn）靶材

      銦（In）靶材

      鉿（Hf）靶材

      鋯（Zr）靶材

      鍺（Ge）靶材

      硅（Si）靶材

      鈣(ca)靶材

      錳（Mn）靶材

      鉛(Pb)靶材

      錸(Re)靶材

      鎂（Mg）靶材

      鉍(Bi)靶材
貴金屬靶材

      銀（Ag）靶材

      金（Au）靶材

      鉑（ Pt）靶材

      銠（Rh）靶材

      釕（Ru）靶材

      銥（Ir）靶材

      鈀（Pd）靶材
稀土金屬靶材

      鑭（La）靶材

      釔（Y）靶材

      鈰（Ce）靶材

      鐠（Pr）靶材

      釹（Nd）靶材

      釤（Sm）靶材

      銪（Eu）靶材

      釓（Gd）靶材

      鋱（Tb）靶材

      鏑（Dy）靶材

      鈥（Ho）靶材

      鉺（Er）靶材

      銩（Tm）靶材

      鐿（Yb）靶材

      镥（Lu）靶材

      鈧（Sc）靶材

      鋰（Li）靶材
鎳合金靶材

      鎳釩（NiV）合金靶材

      鎳鐵（NiFe）合金靶材

      鎳鉻（NiCr）合金靶材

      鎳鈦（NiTi）靶材

      鎳鎢（NiW）合金靶材

      鎳鈷（NiCo ）合金靶材

      鎳鋁（NiAl）合金靶材

      鎳鉑（NiPt）合金靶材

      鎳銅（NiCu）合金靶材

      鎳鉻硅（NiCrSi）合金靶材

      鎳銅鈦（NiCuTi）合金靶材

      鎳銅錳（NiCuMn）合金靶材

      鎳鉻鐵（NiCrFe）合金靶材

      鎳鈷鐵鈦( NiCoFeTi)靶
鐵合金靶材

      鐵鈷（FeCo）合金靶材

      鐵鈷鉭鋯(Fe+Co+Ta+Zr)合金靶材

      鐵錳（FeMn）合金靶材

      鐵硅（FeSi）合金靶材

      鐵鉻（FeCr）合金靶材

      鐵鉿（FeHf）合金靶材

      鐵鎳（FeNi）合金靶材
鈷合金靶材

      鈷鉭鋯(CoTaZr)合金靶材

      鈷鉻（CoCr）合金靶材

      鈷鉻鎢（CoCrW）合金靶材

      鈷鉻鉬（CoCrMo）合金靶材

      鈷鎳鉻鉬（CoNiCrMo）合金靶材
銅合金靶材

      銅鎵（CuGa）合金靶材

      銅銦（CuIn）合金靶材

      銅銦鎵(CuInGa)合金靶材

      銅鎳（CuNi）合金靶材

      銅鎳鈦（CuNiTi）合金靶材
鋁合金靶材

      鋁鈦（AlTi）合金靶材

      鋁銅（AlCu）合金靶材

      鋁錫銅（AlSnCu）合金靶材

      鋁鉻（AlCr）合金靶材
難熔合金靶材

      鎢鈦（WTi）合金靶材

      鉬銅（MoCu）合金靶材

      鉬鈮（MoNb）合金靶材

      鉬鉭（MoTa）合金靶材

      鉬鋯鈦（MoZrTi）合金靶材

      鉬鑭（MoLa）合金靶材
陶瓷靶材
蒸發材料
其他材料
產品應用
平板顯示
玻璃及裝飾鍍膜
磁數據存儲
半導體及微電子
太陽能光伏

快速導航

產品系列

地址信息

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