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陶瓷靶材用什么綁定

陶瓷靶材是比較脆的靶材,通常陶瓷靶材都會綁定背板一起使用。背板除了在濺射過程中可支撐陶瓷靶材,還可以在濺射過程中起到熱傳遞的作用。陶瓷靶材一般選用無氧銅和鉬靶做背板綁定。


銅背板綁定的陶瓷靶材


無氧銅背板

無氧銅是最通用的背板.具有足夠強度,導熱性導電性也極高.而且容易施工。價格低并可重覆使用。


無氧銅背板背板綁定流程

將銅背板固定于加熱臺上,將靶材放置銅背板上,對銅背板進行加熱,通過釬焊將靶材貼合在銅背板上,靶材的遠離銅背板的表面上放置配重塊,待靶材冷卻后取下配重塊步驟。
將銅背板固定于加熱臺上,銅背板在升溫過程中變形量減少,提高了粘貼面的平整度,為高質量的靶材綁定做好準備,釬焊后在靶材上放置配重塊,解決了銦流動性不均勻的問題及避免了粘貼面氣孔的產生,從而提高了靶材與銅背板的綁定質量。


鉬靶材背板

鉬背板適用于高溫綁定,然而銅背板在高溫下較易氧化或者變形。當銅背板與靶材的熱膨脹系數不匹配時,鉬背板可與一些熱膨脹系數小的靶材匹配。


以上是陶瓷靶綁定比較常用的背板,陶瓷靶材的種類很多,我們可以根據陶瓷靶的不同性質選用不同的背板。如果您對陶瓷靶的綁定有任何疑問,可以隨時電話或者微信與我們溝通。


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