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靶材開裂還能用嗎以及靶材開裂的影響因素

靶材開裂


生產中使用的冷卻水溫度與鍍膜線實際水溫存在差異,導致使用過程中靶材開裂。一般來說,輕微的裂紋不會對鍍膜生產產生很大的影響。但當靶材有明顯裂紋時,電荷很容易集中在裂紋邊緣,導致靶材表面異常放電。放電會導致落渣、成膜異常、產品報廢增加。

靶材開裂影響因素

裂紋形成通常發生在陶瓷濺射靶材(如氧化物、碳化物、氮化物等)和脆性材料濺射靶材(如鉻、銻、鉍等)中。

陶瓷或脆性材料目標始終包含固有應力。這些內應力是在靶材制造過程中產生的。此外,這些應力不能通過退火過程完全消除,因為它是這些材料的固有特性。在濺射過程中,轟擊的氣體離子將其動量傳遞給目標原子,為它們提供足夠的能量來脫離晶格。這種放熱動量傳遞增加了目標的溫度,在原子水平上可能達到1,000,000攝氏度。這些熱沖擊將目標中已經存在的內部應力增加到許多倍。在這種情況下,如果不注意適當的散熱,靶材可能會開裂。


靶材開裂預防措施

為了防止靶材開裂,重要的考慮因素是散熱。一方面運用水冷機制來去除靶材中不需要的熱能,另一方面考慮提高功率,在很短的時間內提升功率也會給目標帶來熱沖擊。此外,建議將這些靶材綁定到背板上,這不僅為靶材提供支撐,而且還促進靶材與水之間更好的熱交換。如果靶材破裂有背板加持的情況下,它仍然可以毫無問題地使用。


靶材綁定


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