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靶材綁定及襯管質量對大面積鍍膜的影響

靶材襯管


靶材形狀、純度、密度、孔隙率、晶粒尺寸和粘合質量對薄膜質量和濺射速率有很大影響。在這里,我們討論靶材綁定和襯墊管質量對大面積鍍膜的影響。

靶材綁定對大面積鍍膜的影響
為避免脆性材料如金屬、合金或氧化物等韌性低的斷裂,在制備平面靶材時,通常將靶材綁在銅背板上。相比之下,旋轉靶材綁在不銹鋼襯墊上,常用的綁定材料為金屬銦或其它金屬物質。除了保護靶材在運輸過程中不發生意外破裂外,還可以通過將靶材拼接到背板(襯管)上,改善靶材機械強度不足的問題,解決大型靶材制備和使用受限的問題。它可以保證靶材良好的冷卻和電接觸,防止靶材在濺射過程中出現不均勻的濺射和開裂。

由于靶材在濺射過程中會產生很多熱量,而陶瓷靶材,如氧化鋅鋁濺射靶材的散熱性能較差。如果綁定靶材的無效粘合面積大于靶材和襯墊/背板接觸面積的10%。在這種情況下,濺射過程中很容易產生局部熱量積聚。低熔點綁定材料銦(熔點為156°C)熔化,導致靶材開裂甚至脫落。同時,由于氧化鋅的存在,氧化鋅鋁靶材的表面在加工過程中經常被結節。撞擊電弧放電更容易發生在裂紋處,從而加劇結渣(見圖1a),嚴重影響靶材的使用功率和循環。它降低了鍍膜產品的生產效率,增加了生產成本。而且,導熱系數和導電性不均勻會導致靶材的濺射不均勻(成膜不均勻),表面和放電現象也會導致不均勻的成膜,并會出現膜色差。對電介質層變化敏感的三種銀制品之間的差異更加突出,這將增加涂層的報廢率。因此,靶標的綁定質量對其使用具有重大影響。



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有一些金屬或合金旋轉靶材具有良好的導熱性,如ZnAl濺射靶材,ZnSn濺射靶材,SiAl濺射靶材。由于靶材與不銹鋼管熱膨脹系數(在熱脹冷縮作用下幾何尺寸隨溫度變化變化的正則系數)的差異,還需要使用一些連接材料進行粘接。如果組合性不好,也會出現靶材加熱不均勻、熱傳導受阻、開裂、脫落等現象(如圖1b所示),會影響涂布產品的質量和生產。

靶材襯管質量對大面積鍍膜的影響
當不銹鋼管末端內部倒角過大或過?。ㄒ话銥?5°)時,末端或安裝螺紋處出現較大的劃痕、溝槽、變形或雜質。由于密封松動,容易造成漏氣,導致真空度低,濺射膜成分異常,均勻性差等影響涂布產品質量的因素。同時,不銹鋼管的直線度和內徑也會影響其使用。如果不銹鋼管目標圓筒的內徑較小或內徑有整體偏差(只有端部的尺寸滿足內徑的要求)。安裝磁性鋼后,磁性鋼與靶材之間在生產過程中容易發生嚴重摩擦。當目標旋轉時,它會嚴重跳躍,這會損壞末端并影響成膜質量。特別是對于使用時間長后有輕微變形的磁鋼,對靶材襯管的要求相對較高。

靶材的綁定及襯管質量對于靶材鍍膜來說十分重要,這不僅要求團隊的意識性,也要求專業性,這樣才能鍍出好膜。關于更多靶材知識詳情還可咨詢我們。


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